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J-GLOBAL ID：202002218521561900   Reference number：20A0133040

変わる次世代加工技術 ELID研削とCMPの組み合わせによる高効率仕上げ加工の試み

Author (7)： OMORI HITOSHI (理研) ,  KIM Yunji (九大) ,  UEHARA YOSHIHIRO (理研) ,  KASUGA HIROSHI (理研) ,  ONO TERUKO (理研) ,  KUROKAWA SHUHEI (九大) ,  UMEZU SHINJIRO (早稲田大)
Material： 機械と工具  (生産加工技術を支える機械と工具)
Volume： 10  Issue： 1  Page： 18-22  Publication year： Jan. 10, 2020 
JST Material Number： G0120A  ISSN： 0387-1053  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *grinding ,  *chemical mechanical polishing ,  accuracy of form ,  working and processing ,  mirror finishing ,  surface finishing ,  *Glass ,  functional ceramics ,  brittle material ,  *solid state device ,  ELID grinding ,  *machining
Semi thesaurus term： chemical mechanical polishing ,  figure processing ,  *electron device manufacture

JST classification (4)： Grinding  (QC03000R) ,  Special machining  (QC04000Y) ,  Manufacturing of glass  (YC02020O) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 次世代 ,  ELID研削 ,  CMP ,  組み合わせ ,  高効率 ,  仕上げ加工 ,  試み