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J-GLOBAL ID：202002219597406202   Reference number：20A1991742

Polarity Effect of Breakdown Characteristics across Micrometer-scale Surface Gap

マイクロ沿面ギャップにおける絶縁破壊特性の極性効果

Author (4)： IWABUCHI HIROYUKI (横浜国立大学) ,  OYAMA TSUTOMU (横浜国立大学) ,  KUMADA AKIKO (東京大学) ,  HIDAKA KUNIHIKO (東京大学)
Material： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
Volume： 140  Issue： 7  Page： 342-348(J-STAGE)  Publication year： 2020 
JST Material Number： S0808A  ISSN： 0385-4205  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： discharging gap ,  *creeping discharge ,  field emission ,  *dielectric breakdown ,  *polarity ,  simulator program ,  discharge mechanism ,  *fine patterning ,  voltage ,  simulation ,  simulation model ,  density distribution ,  MEMS ,  microgap ,  Particle-in-Cell method ,  *micro gap discharge ,  breakdown voltage ,  Numerical Simulation ,  electron density distribution ,  electrode negative ,  gap ,  length ,  geometric quantity
Semi thesaurus term： field electron emission ,  Micro Electro Mechanical System device ,  straight polarity ,  負極性

Author keywords (8)： マイクロギャップ ,  沿面放電 ,  PIC-MCC法 ,  電界電子放出 ,  micrometer-scale gap ,  surface discharges ,  PIC-MCC method ,  electric field emission

JST classification (2)： Gas discharges  (BJ03020T) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (13)：

• (1) R. S. Dhariwal, J.-M. Torres, and M. P. Y. Desmulliez : “Electric field breakdown at micrometre separations in air and nitrogen at atmospheric pressure”, IEE Proc. Sci. Meas. Technol., Vol. 147, No. 5, pp. 261-265 (2000)
• (2) C. H. Chen, J. A. Yeh, and P.-J. Wang : “Electrical breakdown phenomena for devices with micron separations”, J. Micromech. Microeng, Vol. 16, pp. 1366-1373 (2006)
• (3) W. S. Boyle and P. Kisliuk : “Departure from Paschen’s Law of Breakdown in Gases”, Phys. Rev., Vol. 97, No. 2, pp. 255-259 (1955)
• (4) L. H. Germer : “Electrical Breakdown between Close Electrodes in Air”, J. Appl. Phys., Vol. 30, p. 46 (1959)
• (5) C. Men, et al.: “Influence of crystal morphology on breakdown characteristics in vacuum between nano scale gaps”, International Conference on Condition Monitoring and Diagnosis (CMD), F1-4 (2016)

Terms in the title (4)： マイクロ ,  ギャップ ,  絶縁 ,  破壊特性