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J-GLOBAL ID：202002223954323655   Reference number：20A0881773

Silicone-based modified layer obtained by low-energy nitrogen ion beam as diaphragm for environmental transmission electron microscope

環境透過型電子顕微鏡のためのダイヤフラムとして低エネルギー窒素イオンビームによって得られたシリコーン系修飾層【JST・京大機械翻訳】

Author (3)： Tai Yuki (Graduate School of Science & Engineering, Major of Electronic Engineering, Kindai University, 3-4-1 Kowakae, Higashi-osaka, Osaka 577-0822, Japan) ,  Matsutani Takaomi (Graduate School of Science & Engineering, Major of Electronic Engineering, Kindai University, 3-4-1 Kowakae, Higashi-osaka, Osaka 577-0822, Japan) ,  Kawasaki Tadahiro (Japan Fine Ceramics Center, 2-4-1 Mutsuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, Japan)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 385  Page： Null  Publication year： 2020 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： Amorphous silicon carbonitride...

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Thesaurus term： silicone resin ,  *transmission electron microscope ,  grease ,  ion irradiation ,  *ion beam ,  amorphous state ,  X-ray photoelectron spectroscopy ,  nitriding ,  macromolecule ,  *polysiloxane ,  surface modification ,  *diaphragm (machine element) ,  ion current ,  silicon nitride ,  *Nitrogen ,  modification

Author keywords (6)： Nitrogen ion beam ,  Surface modification ,  Silicone ,  a-SiCN ,  E-TEM ,  XPS

JST classification (3)： Surface treatment  (YH04112X) ,  Surface hardening  (WC03030E) ,  Medical materials  (GA05040H)

Terms in the title (8)： 環境 ,  透過型電子顕微鏡 ,  ダイヤフラム ,  低エネルギー ,  窒素 ,  イオンビーム ,  シリコーン ,  修飾