水熱合成(K,Na)(Nb,Ta)O<sub>3</sub>の製膜機構の調査

SHIRAISHI TAKAHISA; MUTO YUTA; KIGUCHI TAKANORI; KONNO TOYOHIKO; TATEYAMA AKINORI; ITO YOSHIHARU; FUNAKUBO HIROSHI; UCHIDA HIROSHI

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J-GLOBAL ID：202002224519771261 Reference number：20A0505982

水熱合成(K,Na)(Nb,Ta)O₃の製膜機構の調査

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Volume： 2019 Page： ROMBUNNO.2A09 Publication year： Mar. 01, 2019
JST Material Number： X0505B Document type： Proceedings
Article type：短報 Country of issue： Japan (JPN) Language： JAPANESE (JA)

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Oxide thin films

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水熱合成(K,Na)(Nb,Ta)O3の製膜機構の調査

水熱合成(K,Na)(Nb,Ta)O₃の製膜機構の調査