Art

J-GLOBAL ID：202002230649897678   Reference number：20A0749937

Proposal of Intelligent Polishing System by Artificial Intelligence Using Neural Networks

ニューラルネットワークを用いたAIによる知能研磨システムの提案

Author (5)： YOSHISAKI DAICHI (金沢工業大学大学院) ,  UNEDA MICHIO (金沢工業大学) ,  SHIBUYA KAZUTAKA (不二越機械工業株式会社) ,  MIYASHITA TADAKAZU (不二越機械工業株式会社) ,  ISHIKAWA KEN'ICHI (金沢工業大学)
Material： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
Volume： 86  Issue： 1  Page： 80-86(J-STAGE)  Publication year： 2020 
JST Material Number： U0462A  ISSN： 1882-675X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： neural network (biomodel) ,  artificial intelligence ,  system ,  *chemical mechanical polishing ,  polishing machine ,  cutting tool ,  point ,  ratio ,  surface roughness ,  parameter ,  polish pad ,  contact point ,  *intelligent machine ,  *machining
Semi thesaurus term： AI (artificial intelligence) ,  chemical mechanical polishing ,  elimination rate ,  *intelligent machine system ,  surface roughness

Author keywords (10)： chemical mechanical polishing (CMP) ,  removal rate ,  pad surface asperities ,  artificial intelligence (AI) ,  neural networks ,  chemical mechanical polishing (CMP) ,  removal rate ,  pad surface asperities ,  artificial intelligence (AI) ,  neural networks

JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Reference (23)：

• 1) International Energy Agency (IEA): World Energy Outlook 2018, https://www.bp.com/content/dam/bp/businesssites/en/global/corporate/pdfs/energy-economics/energy-outlook/bp-energyoutlook-2018.pdf, (2019/2/4).
• 2) 山崎雅也: パワー半導体業界-電動化により成長加速-, 野村證券財界観測, (2018).
• 3) 菅井和己: 最先端Si半導体デバイスにおけるCMPプロセス, 精密工学会誌, 78, 11 (2012) 928.
• 4) 玉井一誠, 森永 均: Si, サファイア, SiC, GaNの研磨とそのメカニズム, 日本学術振興会「結晶加工と評価技術」第145委員会第127回研究会, (2011) 8.
• 5) A.T.Budnikou, E.A.Vovk, S.I.Krivonogou, A.Ya.Danko, O.A.Lukiyenko: Anisotropy of sapphire properties associated with chemical - mechanical polishing with silica, Functional Materials, 17, 4 (2010) 488.

Terms in the title (5)： ニューラルネットワーク ,  AI ,  知能 ,  研磨 ,  提案