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J-GLOBAL ID：202002236270620221   Reference number：20A1099769

An On-Chip Micromachined Test Structure to Study the Tribological Behavior of Deep-RIE MEMS Sidewall Surfaces

深いRIEのMEMS側壁表面のトライボロジー挙動を研究するためのオンチップ微細加工試験構造【JST・京大機械翻訳】

Author (3)： Reddy R. Ranga (Department of Electrical Engineering and Information Systems, University of Tokyo, Tokyo, Japan) ,  Okamoto Yuki (Department of Electrical Engineering and Information Systems, University of Tokyo, Tokyo, Japan) ,  Mita Yoshio (Department of Electrical Engineering and Information Systems, University of Tokyo, Tokyo, Japan)
Material： IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Trans Semicond Manuf)
Volume： 33  Issue： 2  Page： 187-195  Publication year： 2020 
JST Material Number： T0521A  ISSN： 0894-6507  CODEN： ITSMED  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： An on-chip micro-mechanical te...

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Thesaurus term： friction coefficient ,  wear ,  reliability(property) ,  silicon ,  vertical load ,  *fine patterning ,  process parameter ,  RIE ,  asperity ,  *MEMS ,  insulator
Semi thesaurus term： 接触面積 ,  *オンチップ ,  動摩擦係数 ,  静摩擦 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (8)： RIE ,  MEMS ,  壁表面 ,  トライボロジー挙動 ,  研究 ,  オンチップ ,  微細加工 ,  試験