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J-GLOBAL ID：202002246387340338   Reference number：20A2238527

Nanotech Platform Established for Average Technical Education Science Laboratories

理科室で構築する工学教育用半導体デバイス設計製作評価環境

Author (8)： NAGAOKA SHIRO (香川高専) ,  YAMAMOTO MASASHI (香川高専) ,  SHIKAMA TOMOKAZU (香川高専) ,  SHIMIZU TOMO (香川高専) ,  JOHNSTON Robert (香川高専) ,  MATSUDA KAZUNORI (徳島文理大) ,  SHIMOKAWA FUSAO (香川大) ,  HORIBE HIDEO (大阪市大)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 67th  Page： ROMBUNNO.14a-PA1-22  Publication year： Feb. 28, 2020 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2436-7613  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： alignment ,  *education ,  light source ,  solar cell ,  thin film ,  *semiconductor device ,  simplification ,  *engineering education ,  Silver ,  silicon ,  boron ,  current-voltage characteristic ,  hardware ,  lithography ,  insulating film ,  modification

JST classification (3)： Research and development  (AA03000V) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Engineering education  (NA01040M)

Terms in the title (9)： 理科 ,  構築 ,  工学 ,  教育 ,  半導体デバイス ,  設計 ,  製作 ,  評価 ,  環境