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J-GLOBAL ID：202002249769537445   Reference number：20A0603602

無酸素Pd/Tiコーティングを利用したフィン型ICFゼロレングス非蒸発型ゲッター(NEG)ポンプの開発

Author (6)： SATO YUTA (Yokohama National Univ. (YNU)) ,  KIKUCHI TAKASHI (High Energy Accelerator Res. Organization (KEK)) ,  MIYAZAWA TETSUYA (Graduate Univ. for Advanced Studies (SOKENDAI)) ,  ONO SHIN'YA (Yokohama National Univ. (YNU)) ,  MASE KAZUHIKO (High Energy Accelerator Res. Organization (KEK)) ,  MASE KAZUHIKO (Graduate Univ. for Advanced Studies (SOKENDAI))
Material： 日本加速器学会年会(Web)  (日本加速器学会年会プロシーディングス(Web))
Volume： 16th  Page： ROMBUNNO.FRPH017 (WEB ONLY)  Publication year： 2019 
JST Material Number： U0092A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *gettering ,  *getter pump ,  Palladium ,  Titanium ,  metallic thin film ,  covering ,  firing (heat treatment) ,  *pumping speed ,  stroke volume
Semi thesaurus term： *nonevaporable getter ,  displacement

JST classification (2)： Particle accelerators in general and theory  (BE02010M) ,  Vacuum production and techniques  (BA02020L)

Terms in the title (9)： PD ,  Ti ,  コーティング ,  フィン ,  ICF ,  レングス ,  蒸発 ,  ゲッター ,  開発