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J-GLOBAL ID：202002257633587700   Reference number：20A1096862

LiDARのレーザー走査用MEMSミラーの最新技術:ラスターおよび全方向スキャナの設計から試作まで

Author (2)： HANE KAZUHIRO (東北大 大学院工学研究科) ,  SASAKI TAKASHI (東北大 大学院工学研究科)
Material： 光技術コンタクト  (Optical and Electro-Optical Engineering Contact)
Volume： 58  Issue： 5  Page： 38-44  Publication year： May. 20, 2020 
JST Material Number： S0624A  ISSN： 0913-7289  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： optical scanning ,  *laser scanner ,  *reflecting mirror ,  MEMS ,  micromachining ,  wafer ,  laser irradiation ,  sensor ,  mechanical design ,  automatic operative method ,  distance measurement ,  range image ,  TOF ,  miniaturization ,  laser beam ,  scanner ,  *LIDAR
Semi thesaurus term： *laser radar ,  *MEMS mirror ,  Si wafer ,  gimbal ,  micromirror ,  raster scan ,  laser scanning ,  distance sensor ,  omni-directional image ,  omni-direction

JST classification (2)： Optical devices in general  (BD06010L) ,  Applications of lasers  (BD04100V)

Reference (12)：

• U.Hofmann, et. al., J.Micro/Nanolith.MEMS MOEMS 13,no.1,(2014)011103
• 泉,他,日本機械学会論文集A,72,(2006)728.
• K. Suzuki, et.al, Int. Conf. Nano/Micro Eng. Mol. Sys. (NEMS) (2020) in press.
• H. M. Chu, et.al, Microsys. Technol. 24, (2018) 2159.
• T. Kobayashi, et.al., Int. Conf. Opt. MEMS Nanophoton. (2019) 142.

Terms in the title (8)： LIDAR ,  レーザー走査 ,  MEMSミラー ,  ラスター ,  全方向 ,  スキャナ ,  設計 ,  試作