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J-GLOBAL ID：200902254860995470   Reference number：06A0426083

Development of a Simple Test Method for Torsional Strength of MEMS Micromirror

MEMSマイクロミラーの簡易ねじり強度試験の開発

Author (4)： IZUMI SATOSHI (東大 大学院工学系研究科) ,  YAMAGUCHI MAKOTO (東大 大学院工学系研究科) ,  SASAO KUNIHIKO (東大 大学院工学系研究科) ,  SAKAI SHINSUKE (東大 大学院工学系研究科)
Material： 日本機械学会論文集 A編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)
Volume： 72  Issue： 717  Page： 728-734  Publication year： May. 25, 2006 
JST Material Number： F0227B  ISSN： 0387-5008  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micromachine ,...
Semi thesaurus term： ノッチング

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Ceramic materials  (HC04040H)

Reference (22)：

• ASADA, N. IEEE Trans. Magnetics. 1994, 30, 4647
• YI, T. Meas. Sci. Technology. 1999, 10, 706
• JADAAN, O. J. Mater. Sci. 2003, 38, 4087
• VEDDE, J. Mater. Sci. Eng, B. 1996, 36, 246
• DING, J. Mater. Sci. Eng. B. 2001, 83, 42

Terms in the title (6)： MEMS ,  マイクロミラー ,  簡易 ,  ねじり強度 ,  試験 ,  開発