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J-GLOBAL ID：202002269623579958   Reference number：20A1088494

Substrate Temperature Effect in the Interaction of Hydrogen Plasma with a Silicon Surface

水素プラズマ-シリコン基板表面相互作用の温度依存性

Author (6)： HARA Kojiro (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  TAKAMI Yoshiki (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  TAKAKI Yuya (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  SHINOHARA Masanori (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  MATSUDA Yoshinobu (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  FUJIYAMA Hiroshi (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
Material： プラズマ・核融合学会年会(Web)  (プラズマ・核融合学会年会予稿集(Web))
Volume： 28th  Page： ROMBUNNO.22P021-O (WEB ONLY)  Publication year： 2011 
JST Material Number： U1621A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： 水素プラズマ ,  シリコン ,  基板表面 ,  相互作用 ,  温度依存性