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J-GLOBAL ID：202002273497339479   Reference number：20A2381542

Optimization of deposition conditions of yttrium doped-SrZrO₃ thin films fabricated by pulsed laser deposition

パルスレーザ蒸着により作製したイットリウムドープSrZrO₃薄膜の蒸着条件の最適化

Author (4)： TANAKA Hiroki (Department of Innovative and Engineered Material, Tokyo Institute of Technology) ,  UCHIYAMA Kiyoshi (Department of Creative Engineering, National Institute of Technology, Tsuruoka College) ,  SHIMIZU Takao (Department of Innovative and Engineered Material, Tokyo Institute of Technology) ,  FUNAKUBO Hiroshi (Department of Innovative and Engineered Material, Tokyo Institute of Technology)
Material： Journal of the Ceramic Society of Japan (Web)  (J Ceram Soc Jpn (Web))
Volume： 128  Issue： 8  Page： 436-440(J-STAGE)  Publication year： 2020 
JST Material Number： U0409A  ISSN： 1348-6535  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： pulsed laser deposition ,  *Yttrium ,  doping ,  zirconate ,  strontium compound ,  *thin film ,  *optimization ,  laser output ,  concentration dependence ,  thin film growth ,  crystallization ,  second phase ,  solid oxide fuel cell ,  electrode material ,  proton conduction ,  optimum condition ,  perovskite type crystal ,  *strontium zirconate ,  process optimisation ,  *modification
Semi thesaurus term： 蒸着条件

Author keywords (4)： Proton conductive ,  Perovskite oxide ,  Thin film ,  Fuel cell

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (24)：

• 1) H. Iwahara, T. Esaka, H. Uchida and N. Maeda, Solid State Ionics, 3-4, 359-363 (1981).
• 2) H. Iwahara, T. Yajima, T. Hibino and H. Ushida, J. Electrochem. Soc., 140, 1687-1691 (1993).
• 3) T. Shimada, C. Wen, N. Taniguchi, J. Otomo and H. Takahashi, J. Power Sources, 131, 289-292 (2004).
• 4) N. Ito, M. Iijima, K. Kimura and S. Iguchi, J. Power Sources, 152, 200-203 (2005).
• 5) K. Uchiyama, Y. Isse, Y. Hori, T. Nishida, Y. Uraoka, T. Kariya and K. Yanagimoto, Proc. 6th Thin-Films Materials and Devices Meeting, Nov.2-3, Kyoto, Japan (2009) p. 100228102.

Terms in the title (7)： パルスレーザ蒸着 ,  作製 ,  イットリウム ,  ドープ ,  薄膜 ,  蒸着 ,  最適化