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J-GLOBAL ID：202002273675253581   Reference number：20A2238228

Development of multi-element XPS spectral analysis using basis function of multiple-peaks

多重ピークを基底関数とした多元素XPSスペクトル解析の手法開発

Author (6)： MURAKAMI RYO (米子工高専) ,  NAKAMURA KAZUKI (米子工高専) ,  TANAKA HIROMI (米子工高専) ,  SHINOTSUKA HIROSHI (物質・材料研究機構) ,  NAGATA KENJI (物質・材料研究機構) ,  YOSHIKAWA HIDEKI (物質・材料研究機構)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 67th  Page： ROMBUNNO.14a-A205-9  Publication year： Feb. 28, 2020 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： Automation ,  *spectral analysis ,  *spectrum ,  *multiplex ,  three dimension ,  surface charge ,  effectiveness ,  multiphase ,  monophase ,  energy resolving power ,  *basis function ,  sparse modeling ,  modification
Semi thesaurus term： 高度化 ,  ピークシフト ,  オペランド , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (2)： Miscellaneous analytical methods of organic compounds  (CC08034J) ,  Spectroanalysis  (CC03012W)

Terms in the title (7)： 多重 ,  基底関数 ,  元素 ,  XPS ,  スペクトル解析 ,  手法 ,  開発