Art

J-GLOBAL ID：202002274266357000   Reference number：20A1000934

Estimation of accurate electron collision cross-section sets for gases in a low energy region

低エネルギー電子衝突断面積セットの高精度推定

Author (1)： SATO KOKI (室蘭工大 大学院)
Material： 応用物理  (JSAP International)
Volume： 89  Issue： 5  Page： 253-259  Publication year： May. 10, 2020 
JST Material Number： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *cross section (area) ,  energy ,  *plasma ,  *transport coefficient ,  Technology ,  electron swarm ,  water vapor ,  aliphatic alcohol ,  *Electron Collision Cross Sections ,  low energy ,  *discharge plasma ,  *electron transport coefficient ,  simulation technology

JST classification (1)： Electron scattering by molecules  (BH07030A)

Substance index (1)： Tetraethoxysilane

Reference (47)：

• 1) S. Kawaguchi, K. Takahashi, K. Satoh, and H. Itoh: Jpn. J. Appl. Phys. 55, 07LD03 (2016).
• 2) S. Kawaguchi, H. Higuchi, H. Li, K. Denpoh, K. Takahashi, and K. Satoh: Jpn. J. Appl. Phys. 58, 066003 (2019).
• 3) H.R. Skullerud: J. Phys. D 1, 1567 (1968).
• 4) W.H. Press, S.A. Teukolsky, W.T. Vetterling, and B.P. Flanneryet: Numerical Recipes 3rd ed., p. 364 (Cambridge University Press, Cambridge, UK, 2007).
• 5) V.D. Stojanović and Z.Lj. Petrović: J. Phys. D 31, 834 (1998).

Terms in the title (3)： 低エネルギー ,  電子衝突断面積 ,  推定