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J-GLOBAL ID：202002279352541106   Reference number：20A2115725

Preparation and magneto-dielectric properties of Co-Al₂O₃ nano-composite films by differential pressure sputtering

磁性-誘電ナノコンポジット薄膜の作製と諸特性-差動圧力スパッタ法によるCo-Al₂O₃系ナノ複相薄膜の作製と磁気-誘電特性-

Author (4)： MASUMOTO HIROSHI (東北大 学際研) ,  KIMURA MOE (東北大 学際研) ,  CAO Yang (東北大 学際研) ,  AOKI HANAE (東北大 学際研)
Material： 東北大学金属材料研究所新素材共同研究開発センター共同利用研究報告書(CD-ROM)
Volume： 2019  Page： 106-107  Publication year： Aug. 28, 2020 
JST Material Number： L3700B  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *cobalt ,  *aluminum oxide ,  nanocomposites ,  *composite film ,  *sputtering ,  dielectrics
Semi thesaurus term： magnetic dielectrics

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (10)： 磁性 ,  ナノコンポジット ,  薄膜 ,  作製 ,  差動 ,  スパッタ法 ,  CO ,  Al2O3 ,  磁気 ,  誘電特性