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J-GLOBAL ID：202003008141652146

センサ、構造および電気機器

Inventor： 久留井 慶彦 ,  藤本 明 ,  富澤 英之 ,  齋藤 友博 ,  小島 章弘 ,  前中 一介
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝 ,  公立大学法人兵庫県立大学
Agent (1)： 特許業務法人スズエ国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2018158387
Publication number (International publication number)：2020034290
Application date： Aug. 27, 2018
Publication date： Mar. 05, 2020
Summary：

【課題】 性能の低下を抑制できるセンサを提供することを提供すること。【解決手段】 センサは、基板上に設けられた第1の固定電極21と、基板上に設けられた第2の固定電極22と、第1の固定電極および第2の固定電極の上方に配置され、開口25を有する可動電極26とを含む。MEMSデバイスは、さらに、一端が開口の内壁に接続された第1のトーションバネ31と、第1のトーションバネの他端に接続され、開口25の上方から見て、屈曲部を有する第1の梁部41とを含む。MEMSデバイスは、さらに、一端が開口の内壁に接続された第2のトーションバネ32と、第2のトーションバネの他端に接続され、開口25の上方から見て、屈曲部を有する第2の梁部42とを含む。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基板と、 前記基板上に設けられた第1の固定電極と、 前記基板上に設けられた第2の固定電極と、 前記第1の固定電極および前記第2の固定電極の上方に配置され、開口を有する可動電極と、 一端が前記開口の内壁に接続された第1のトーションバネと、 前記第1のトーションバネの他端に接続され、前記開口の上方から見て、屈曲部を有する第1の梁部と、 一端が前記開口の内壁に接続された第2のトーションバネと、 前記第2のトーションバネの他端に接続され、前記開口の上方から見て、屈曲部を有する第2の梁部と を具備するセンサ。

IPC (4)：

G01P 15/125 ,  B81B 3/00 ,  G01P 15/08 ,  H01L 29/84

FI (4)：

G01P15/125 Z ,  B81B3/00 ,  G01P15/08 101B ,  H01L29/84 Z

F-Term (35)：

3C081AA01 ,  3C081BA22 ,  3C081BA32 ,  3C081BA33 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA53 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA20 ,  3C081CA29 ,  3C081DA03 ,  3C081DA27 ,  3C081DA30 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA23 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112CA34 ,  4M112DA03 ,  4M112DA05 ,  4M112DA06 ,  4M112DA15 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA08 ,  4M112EA11 ,  4M112EA12 ,  4M112FA01 ,  4M112GA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特許第6327384号
  
• 特許第6146565号
  
• 特許第6206650号
  
• 特許第8434364号
  

Cited by examiner (1)

• 物理量センサー、電子機器、および移動体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2017-098911   Applicant：セイコーエプソン株式会社