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J-GLOBAL ID：201703014216188062

物理量センサー、電子機器、および移動体

Inventor：
田中 悟

About 田中 悟


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (2)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017098911
Publication number (International publication number)：2017156353
Application date： May. 18, 2017
Publication date： Sep. 07, 2017
Summary：
【課題】可動体が基板に張り付くことを防ぐことができる物理量センサーを提供する。【解決手段】本発明に係る物理量センサーは、基板10と、可動電極部21,22を備えた可動体20と、可動体20を第1軸Qまわりに変位可能に支持する支持部30,32と、可動体20を第1軸Qを境に第1部分20aおよび第2部分20bに区分けした場合に、第1部分20aに対向して基板10上に配置された第1固定電極部50と、第2部分20bに対向して基板10上に配置された第2固定電極部52と、を含み、基板10上には、第1固定電極部50と第2固定電極部52との間の電極間領域14aに可動体20と基板10との間に生じる静電力を抑制するガード部60が設けられている。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
基板と、 可動電極部を備えた可動体と、 前記可動体を第1軸まわりに変位可能に支持する支持部と、 前記可動体を前記第1軸を境に第1部分および第2部分に区分けした場合に、 前記第1部分に対向して前記基板上に配置された第1固定電極部と、 前記第2部分に対向して前記基板上に配置された第2固定電極部と、を含み、 前記基板上には、前記第1固定電極部と前記第2固定電極部との間の電極間領域に前記可動体と前記基板との間に生じる静電力を抑制するガード部が設けられている、物理量センサー。
IPC (5)：
G01P 15/125 ,  G01P 15/08 ,  G01C 19/575 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00
FI (6)：
G01P15/125 Z ,  G01P15/08 101B ,  G01P15/08 102F ,  G01C19/5755 ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00
F-Term (45)：
2F105AA01 ,  2F105AA02 ,  2F105AA03 ,  2F105AA05 ,  2F105AA06 ,  2F105AA08 ,  2F105BB12 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  3C081AA02 ,  3C081BA04 ,  3C081BA30 ,  3C081BA32 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA53 ,  3C081CA05 ,  3C081CA28 ,  3C081CA32 ,  3C081CA33 ,  3C081DA06 ,  3C081DA26 ,  3C081DA27 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112DA02 ,  4M112DA03 ,  4M112DA05 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA10 ,  4M112EA11 ,  4M112EA12 ,  4M112EA13 ,  4M112FA07 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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