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J-GLOBAL ID：202003011077931037

カセットホルダ

Inventor：
関家 一馬

About 関家 一馬


Applicant, Patent owner：
株式会社ディスコ

About 株式会社ディスコ


Agent (5)： 松本 昂 ,  岡本 知広 ,  笠原 崇廣 ,  岡本 英哲 ,  岡野 貴之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2018139484
Publication number (International publication number)：2020017625
Application date： Jul. 25, 2018
Publication date： Jan. 30, 2020
Summary：
【課題】カセットと、筐体と、の衝突が抑制された加工装置を提供する。【解決手段】ウェーハを収容するカセットを支持するカセットホルダであって、該カセットが載置される長方形状の底面部と、長方形状の該底面部の一端部及び該一端部に対向する他端部からそれぞれ立設し該カセットの一対の側面にそれぞれ対面する一対の突き当て側壁と、該底面部の該一端部及び該他端部を接続する後端部から立設する後壁と、を備えるカセット収容部と、該カセット収容部が所定量移動または所定量傾斜するのを許容しつつ該カセット収容部を支持する移動吸収支持部と、を備える。該移動吸収支持部は、該カセット収容部を摺動可能に支持する支持板と、一対の側壁と、該カセット収容部の該後壁に対面する壁部と、該一対の側壁の一方、該一対の側壁の他方、及び、該壁部のいずれかと、該支持板に支持された該カセット収容部と、に接続された弾性部材と、を有してもよい。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
ウェーハを収容するカセットを支持するカセットホルダであって、 該カセットが載置される長方形状の底面部と、長方形状の該底面部の一端部及び該一端部に対向する他端部からそれぞれ立設し該カセットの一対の側面にそれぞれ対面する一対の突き当て側壁と、該底面部の該一端部及び該他端部を接続する後端部から立設する後壁と、を備えるカセット収容部と、 該カセット収容部が該カセット収容部の該底面部に沿った方向へ所定量移動または所定量傾斜するのを許容しつつ該カセット収容部を支持する移動吸収支持部と、を備えることを特徴とするカセットホルダ。
IPC (3)：
H01L 21/673 ,  B65D 81/07 ,  B65D 85/30
FI (3)：
H01L21/68 T ,  B65D81/07 ,  B65D85/30 500
F-Term (48)：
3E066AA66 ,  3E066FA06 ,  3E066HA04 ,  3E066JA01 ,  3E066KA20 ,  3E066NA60 ,  3E096AA06 ,  3E096AA13 ,  3E096BA15 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA01 ,  3E096DA03 ,  3E096DB10 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096GA04 ,  3E096GA11 ,  5F131AA02 ,  5F131AA21 ,  5F131AA22 ,  5F131BA32 ,  5F131CA09 ,  5F131CA22 ,  5F131DA05 ,  5F131DD02 ,  5F131DD43 ,  5F131DD94 ,  5F131EC32 ,  5F131EC44 ,  5F131EC62 ,  5F131FA02 ,  5F131FA13 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131GA03 ,  5F131GA63 ,  5F131GB02 ,  5F131GB22 ,  5F131GB25 ,  5F131GB29 ,  5F131HA02 ,  5F131HA04 ,  5F131HA07 ,  5F131KA14 ,  5F131KA27 ,  5F131KB17 ,  5F131KB58
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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Cited by examiner (5)
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