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J-GLOBAL ID:202003011958784606
感放射線性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、半導体素子及び表示素子
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (6):
天野 一規
, 池田 義典
, 小川 博生
, 石田 耕治
, 各務 幸樹
, 藤中 賢一
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2015239783
Publication number (International publication number):2017107024
Patent number:6750213
Application date: Dec. 08, 2015
Publication date: Jun. 15, 2017
Claim (excerpt):
【請求項1】 下記式(2-1)で表される基及び下記式(2-2)で表される基から選ばれる少なくとも1種の基を有する構造単位を含み、全構造単位に対する上記構造単位の含有割合が30質量%以上90質量%以下である第1重合体、
エポキシ基を有するエポキシ化合物(但し、上記第1重合体は上記エポキシ化合物には含まれない。)、及び
感放射線性化合物
を含有する感放射線性樹脂組成物。
(上記式(2-1)及び(2-2)中、R1は、水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシ基又は炭素数1〜6のアルコキシ基である。R2及びR3は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1〜6のアルコキシ基、炭素数1〜10のアルキル基又はフェニル基である。
上記式(2-1)中、A1は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1〜6のアルコキシ基又は炭素数1〜6のアルキル基である。A1が複数の場合、複数のA1は、それぞれ独立して上記定義を満たす。n1は、0〜4の整数である。*は、結合部位を示す。
上記式(2-2)中、A2は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数1〜6のアルコキシ基又は炭素数1〜6のアルキル基である。A2が複数の場合、複数のA2は、それぞれ独立して上記定義を満たす。n2は、0〜6の整数である。*は、結合部位を示す。)
IPC (8):
G03F 7/075 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/022 ( 200 6.01)
, G03F 7/038 ( 200 6.01)
, G03F 7/031 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, C08L 25/00 ( 200 6.01)
, C08L 33/00 ( 200 6.01)
FI (9):
G03F 7/075 521
, G03F 7/004 501
, G03F 7/022
, G03F 7/038 601
, G03F 7/031
, G03F 7/20 501
, G03F 7/20 521
, C08L 25/00
, C08L 33/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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ポジ型感光性重合体組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2008-005515
Applicant:チッソ株式会社
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硬化性樹脂組成物、表示素子用硬化膜、その形成方法及び表示素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2014-050848
Applicant:JSR株式会社
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感放射線性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2014-059676
Applicant:JSR株式会社
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