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J-GLOBAL ID:202003014677261891
光学顕微鏡、及び観察方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (2):
家入 健
, 岩瀬 康弘
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2020031954
Publication number (International publication number):2020095285
Application date: Feb. 27, 2020
Publication date: Jun. 18, 2020
Summary:
【課題】広視野、かつ、高NAで観察可能な光学顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明の一態様にかかる光学顕微鏡は、光源11と、照射光を偏向するサーボ型走査ミラー17と、試料21での非線形光学現象によって生じた観察光を屈折する対物レンズ20と、ダイクロイックミラーDCM2によって分離された観察光が入射するリレーレンズLX1、LX2と、リレーレンズLX1、LX2からの観察光を検出する光検出器PMT1と、を備え、対物レンズ20の中央部には、サーボ型走査ミラー17は、照射光が中央領域41内に投影されるよう、照射光を走査し、対物レンズ20の中央領域41と周辺領域42とを通過した観察光がリレーレンズLX1、LX2を介して光検出器PMT1で検出される。【選択図】図1
Claim (excerpt):
照射光を発生する光源と、
前記照射光を偏向して、試料上での照射位置を走査する光スキャナと、
前記光源と前記光スキャナとの間に設けられ、前記照射光のビーム径を拡大するビームエキスパンダと、
前記光スキャナで偏向された前記照射光を集光して前記試料に照射するともに、前記試料での非線形光学現象によって生じた観察光を屈折する対物レンズと、
前記光スキャナでデスキャンされる前に、前記対物レンズからの前記観察光を前記照射光の光路から分離する光分離手段と、
前記光分離手段によって分離された前記観察光が入射するコンデンサレンズと、
前記コンデンサレンズからの前記観察光を検出する光検出器と、を備え、
前記対物レンズの一つのレンズの中央部には、収差補正が施された中央領域が形成され、かつ、前記中央領域の外側には収差補正が施されていない周辺領域が隣接して形成され、
前記光スキャナは、前記照射光が前記中央領域内に投影されるよう、前記照射光を走査し、
前記対物レンズの前記中央領域と前記周辺領域とを通過した前記観察光が前記コンデンサレンズを介して前記光検出器で検出され、
前記ビームエキスパンダは、前記照射光が前記中央領域内のみに投影されるように前記ビーム径を拡大する光学顕微鏡。
IPC (3):
G02B 21/06
, G02B 21/36
, G01N 21/64
FI (3):
G02B21/06
, G02B21/36
, G01N21/64 E
F-Term (27):
2G043AA03
, 2G043BA16
, 2G043CA05
, 2G043EA01
, 2G043FA02
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA09
, 2G043JA01
, 2G043KA01
, 2G043KA02
, 2G043KA09
, 2H052AA07
, 2H052AA09
, 2H052AB05
, 2H052AB14
, 2H052AB24
, 2H052AC04
, 2H052AC13
, 2H052AC15
, 2H052AC21
, 2H052AC34
, 2H052AD20
, 2H052AD33
, 2H052AD34
, 2H052AF02
, 2H052AF14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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対物レンズユニット及びこの対物レンズユニットを有する走査型顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2011-191227
Applicant:株式会社ニコン
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非線形光学顕微鏡装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2013-118936
Applicant:オリンパス株式会社
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非線形光学顕微鏡及びその調整方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2008-264946
Applicant:株式会社ニコン
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