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J-GLOBAL ID：202102211017011650   Reference number：21A0027156

前処理に必要な器具や装置の正しい使用法 真空ポンプ

Author (1)： OGURA SHOHEI (東京電機大)
Material： ぶんせき
Issue： 12  Page： 496-497  Publication year： Dec. 05, 2020 
JST Material Number： S0128B  ISSN： 0386-2178  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *vacuum pump ,  surface analysis ,  *analytical instrument ,  adsorption ,  mean free path ,  compression ratio ,  *velocity ,  rotary pump ,  molecular pump ,  ion pump(vacuum) ,  cryopump ,  vacuum gage
Semi thesaurus term： turbo molecular pump ,  *pumping speed

JST classification (2)： Vacuum production and techniques  (BA02020L) ,  Vacuum pumps  (QD04030I)

Reference (5)：

• 湯山純平, 末次祐介: J. Vac. Soc. Jpn., 56, 210 (2013).
• 株式会社アルバック: ′′新版真空ハンドブック′′, (2002), (オーム社出版局).
• 福谷克之: 応用物理, 78, 991 (2009).
• 穂坂浩之: 表面と真空, 61, 496 (2018).
• 後藤康仁: J. Vac. Soc. Jpn., 59, 184 (2016).

Terms in the title (3)： 器具 ,  使用法 ,  真空ポンプ