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J-GLOBAL ID：202102278181220651   Reference number：21A0169511

Development of NMIJ CRM 5207-a tungsten dot-array for the image sharpness evaluation in scanning electron microscopy - structure evaluation and determination of dot-pitch

走査型電子顕微鏡における像の鮮鋭度評価のためのタングステンドットアレイNMIJ CRM 5207-aの開発-構造評価とドットピッチの決定

Author (2)： KUMAGAI Kazuhiro (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  KUROKAWA Akira (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
Material： Microscopy
Volume： 69  Issue： 6  Page： 360-370  Publication year： Dec. 2020 
JST Material Number： W1384A  ISSN： 2050-5698  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *scanning electron microscope ,  *sharpness ,  Tungsten ,  array ,  structure analysis ,  magnification ,  *certified reference material ,  scale ,  contrast ,  differential ,  Uncertainty ,  resolving power ,  *dot array ,  nano scale
Semi thesaurus term： SEM (microscope) ,  *resolution ,  *analysis of structure ,  differentiation ,  uncertainty

JST classification (2)： Electron and ion microscopes  (BD02050B) ,  Research and development  (BA01040A)

Terms in the title (10)： 走査型電子顕微鏡 ,  像 ,  鮮鋭度 ,  評価 ,  タングステン ,  ドットアレイ ,  CRM ,  開発 ,  構造評価 ,  ドットピッチ