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J-GLOBAL ID:202103005197863687

スピン材料およびスピン軌道トルク生成効率の制御方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 山川 茂樹 ,  小池 勇三 ,  山川 政樹 ,  本山 泰
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2019141973
Publication number (International publication number):2021027088
Application date: Aug. 01, 2019
Publication date: Feb. 22, 2021
Summary:
【課題】より高効率で、機能的なスピン軌道材料を提供する。【解決手段】スピン材料は、レニウムの酸化物(酸化レニウム)から構成されてスピン軌道トルクを生成する。このスピン材料は、酸化の状態を制御することで、スピン材料のスピン軌道トルク生成効率を制御することができる。例えば、スピン材料の成膜時の温度により、スピン材料の酸化の状態を制御することができる。また、スピン材料の成膜時の成膜レートにより、スピン材料の酸化の状態を制御することができる。スピン材料の成膜は、例えば、酸素を用いた反応性スパッタ法により実施することができる。【選択図】 なし
Claim (excerpt):
レニウムの酸化物から構成されてスピン軌道トルクを生成するスピン材料。
IPC (4):
H01L 29/82 ,  H01L 43/08 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/105
FI (3):
H01L29/82 Z ,  H01L43/08 Z ,  H01L27/105 447
F-Term (13):
4M119AA03 ,  4M119BB01 ,  4M119BB20 ,  4M119CC10 ,  4M119DD25 ,  4M119EE03 ,  5F092AA04 ,  5F092AB06 ,  5F092AC12 ,  5F092AC26 ,  5F092AD25 ,  5F092BC03 ,  5F092BD13
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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