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J-GLOBAL ID：202103013514230256

非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置

Inventor： 間瀬 一彦 ,  菊地 貴司
Applicant, Patent owner： 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構
Agent (3)： 杉村 憲司 ,  杉村 光嗣 ,  神 紘一郎
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2018553025
Patent number：6916537
Application date： Nov. 28, 2017
Claim (excerpt)：

【請求項1】炭素原子、窒素原子、酸素原子の吸蔵量の合計が9モル%以下である非蒸発型ゲッタ材料層、及び/又は、炭素原子、窒素原子、酸素原子の吸蔵量の合計が12モル%以下である貴金属層を含み、低圧下での185°C以下の活性化温度による加熱で残留気体を排気する性能を示すことを特徴とする、非蒸発型ゲッタコーティング部品。

IPC (8)：

F04B 37/04 ( 200 6.01) ,  F04B 37/02 ( 200 6.01) ,  B01J 3/00 ( 200 6.01) ,  B01J 3/03 ( 200 6.01) ,  B01D 53/04 ( 200 6.01) ,  C23C 14/26 ( 200 6.01) ,  C23C 14/24 ( 200 6.01) ,  C23C 14/54 ( 200 6.01)

FI (9)：

F04B 37/04 ,  F04B 37/02 A ,  B01J 3/00 K ,  B01J 3/03 J ,  B01D 53/04 ,  B01D 53/04 220 ,  C23C 14/26 A ,  C23C 14/24 T ,  C23C 14/54 B