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J-GLOBAL ID：202103014146083880
窒化アルミニウム結晶の製造方法
Inventor：
,
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Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
須田 篤
, 楠 修二
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2016173355
Publication number (International publication number)：2017160106
Patent number：6797398
Application date： Sep. 06, 2016
Publication date： Sep. 14, 2017
Claim (excerpt)：
【請求項1】 Ga-Al合金融液に、窒素を含むガスを吹き込んでAlを含む蒸気を発生させ、前記Ga-Al合金融液の外部に配置したテンプレート基板に、前記蒸気をあてることにより、前記テンプレート基板の表面に窒化アルミニウム結晶を成長させることを特徴とする窒化アルミニウム結晶の製造方法。
IPC (4)：
C30B 29/38 ( 200 6.01)
, C30B 29/62 ( 200 6.01)
, C30B 25/14 ( 200 6.01)
, H01L 21/205 ( 200 6.01)
C30B 29/38 C
, C30B 29/62 Q
, C30B 25/14
, H01L 21/205
