Pat

J-GLOBAL ID：202103017080319763

アークプラズマ蒸着法による多元素ナノ粒子の製造方法

Inventor： 今岡 享稔 ,  林 洋子 ,  山元 公寿
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東京工業大学
Agent (2)： 特許業務法人牛木国際特許事務所 ,  牛木 護
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019194936
Publication number (International publication number)：2021066946
Application date： Oct. 28, 2019
Publication date： Apr. 30, 2021
Summary：

【課題】粒子サイズの制御や担持量の高いナノ粒子の作製、ナノ粒子における様々な種類の元素の組み合わせ、使用できる担体の種類の幅広さを可能とする、新規な多元素ナノ粒子の製造方法を提供する。【解決手段】多元素ナノ粒子4の製造方法は、各々異なる種類の元素のターゲット16を有する複数のプラズマ発生部1により、同時または順に基材3へアークプラズマ2を蒸着し、前記異なる種類の元素を含むナノ粒子を得ることを特徴としている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

各々異なる種類の元素のターゲットを同時または順に基材へアークプラズマ蒸着し、前記異なる種類の元素を含むナノ粒子を得る、多元素ナノ粒子の製造方法。

IPC (2)：

C23C 14/24 ,  B82Y 40/00

FI (3)：

C23C14/24 F ,  C23C14/24 C ,  B82Y40/00

F-Term (18)：

4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA05 ,  4K029BA08 ,  4K029BA09 ,  4K029BA11 ,  4K029BA12 ,  4K029BA13 ,  4K029BA15 ,  4K029BA17 ,  4K029BA18 ,  4K029BA35 ,  4K029CA01 ,  4K029DB03 ,  4K029DB14 ,  4K029DB17