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J-GLOBAL ID：202103019113926043

走査型透過電子顕微鏡による観察方法、走査型透過電子顕微鏡システム及びプログラム

Inventor： 柴田 直哉 ,  関 岳人 ,  大江 耕介 ,  幾原 雄一
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 東京大学
Agent (1)： 特許業務法人ドライト国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019203552
Publication number (International publication number)：2021077523
Application date： Nov. 08, 2019
Publication date： May. 20, 2021
Summary：

【課題】複数の検出領域を有する分割型検出器を用いて試料中の原子を高コントラストで観察可能とする。【解決手段】走査型透過電子顕微鏡システム100は、電子線EBを試料S上で走査し、明視野領域に配置された複数の検出領域を有する分割型検出器105を用いて、試料Sを透過して散乱した電子を検出領域ごとに検出し、複数の検出領域でのそれぞれの検出結果に基づいて複数の分割画像を生成し、複数の分割画像のそれぞれに対し、信号ノイズ比に基づいて定められたフィルタを作用させて再構成像を生成する。信号ノイズ比は、複数の検出領域にそれぞれ対応する複素数の位相コントラスト伝達関数と重み付け係数との積和演算によって得られたトータル位相コントラスト伝達関数の絶対値をノイズレベルで規格化した値に比例し、フィルタは、信号ノイズ比が最大となる重み付け係数に基づいて定められる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

電子線を試料上で走査し、前記試料を透過した電子を検出して前記試料中の構造を観察する走査型透過電子顕微鏡による観察方法であって、 前記試料を透過した電子を、明視野領域に配置された複数の検出領域を有する分割型検出器で検出した結果を取得するステップと、 前記複数の検出領域でのそれぞれの検出結果に基づいて複数の分割画像を生成し、前記複数の分割画像のそれぞれに対し、信号ノイズ比に基づいて定められたフィルタを作用させて再構成像を生成するステップと、 を有し、 前記信号ノイズ比は、前記複数の検出領域のそれぞれに対応する複素数の位相コントラスト伝達関数と重み付け係数との積和演算によって得られたトータル位相コントラスト伝達関数の絶対値を、ノイズレベルで規格化した値に比例し、 前記複数の検出領域のそれぞれに対応する前記フィルタは、前記信号ノイズ比が最大となる前記重み付け係数に基づいて定められる、観察方法。

IPC (3)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/244

FI (3)：

H01J37/22 502G ,  H01J37/28 C ,  H01J37/244

F-Term (3)：

5C033NP06 ,  5C033SS07 ,  5C033SS10