振動ジャイロ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：山本俊則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2019111920
Publication number (International publication number)：2020204506
Application date： Jun. 17, 2019
Publication date： Dec. 24, 2020
Summary：

【課題】単結晶圧電材料を用いた振動ジャイロを提供する。【解決手段】(a)互いに対向する一対の主面12s,12tを有し、主面12s,12tに平行かつ互いに直交する2つの駆動軸と、駆動軸の間を等分する2つの検出軸とのそれぞれを中心として線対称な形状である圧電基板12と、(b)圧電基板12を駆動軸方向に振動させる電界を圧電基板12に印加するための駆動用電極21〜28,31〜38と、(c)圧電基板12の検出軸の方向の振動によって圧電基板12に励起される電荷を検出するための検出用電極41〜28,51〜58とを備える。圧電基板12は、三方晶系の点群3mに分類される単結晶の圧電材料からなり、圧電基板12の主面12s,12t方向の弾性コンプライアンスが主面12s,12t内の方位によらず略一定になるように切り出されている。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

縮退モードのワイングラス振動あるいは円環広がり振動で駆動、検出する振動ジャイロであって、互いに対向する一対の主面を有する圧電基板と、前記圧電基板を、前記主面に平行かつ互いに直交する2つの駆動軸の方向に振動させる電界を前記圧電基板に印加するための駆動用電極と、前記圧電基板の、前記駆動軸の間を等分する2つの検出軸の方向の振動によって前記圧電基板に励起される電荷を検出するための検出用電極と、を備え、前記圧電基板は、三方晶系の点群3mに分類される単結晶の圧電材料からなり、前記単結晶の結晶軸X,Y,ZのうちZ軸が分極方向であり、前記結晶軸X,Y,Zによる結晶XYZ座標系を右手系オイラー角の定義に従って、前記Z軸周りに角度ψ回転したX'Y'Z'座標系を、さらにX'軸周りに角度θ回転したX''Y''Z''座標が前記圧電基板のウエハ座標系であるとすると、 2つの前記駆動軸と2つの前記検出軸とのうち一方は、X''軸又はY''軸に平行であり、 2つの前記駆動軸と2つの前記検出軸とのうち他方は、前記X''軸及び前記Y''軸の間を等分する2つの直線のうち一方又は他方に平行であり、前記圧電基板の前記主面方向の弾性コンプライアンスが前記主面内の方位によらず略一定であることを特徴とする、振動ジャイロ。

IPC (5)：

G01C 19/567 , G01C 19/569 , H01L 41/113 , H01L 41/187 , H01L 41/047

FI (5)：

G01C19/5677 , G01C19/5691 , H01L41/113 , H01L41/187 , H01L41/047

F-Term (9)：

2F105AA01 , 2F105AA02 , 2F105BB02 , 2F105BB03 , 2F105BB14 , 2F105BB15 , 2F105CC04 , 2F105CD02 , 2F105CD06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

圧電ジャイロ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-143729 Applicant：富士通メディアデバイス株式会社
特開平3-106083
振動ジャイロ及びその使用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-111711 Applicant：株式会社明電舎

Show all

Return to Previous Page