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J-GLOBAL ID：202104001001581679
Research Project code：07100028
真空紫外レーザー光発生用非線形光学結晶の開発
真空紫外レーザー光発生用非線形光学結晶の開発
National award number：JPMJCR0743
Study period：2007 - 2013
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 大学院工学研究科, 特任教授/名誉教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR0743
Research overview：
極微小欠陥検査用光源の短波長化及び長寿命化のために、波長170nm台の真空紫外光発生用光学結晶の育成技術、および紫外レーザー損傷メカニズムの解明を通して長寿命化技術の開発を行います。
Terms in the title (2)：
Terms in the title
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,
Research program：
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Parent Research Project：
次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
