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J-GLOBAL ID：202104002448742447  Research Project code：10100923

超長尺基板対応大面積プラズマスパッタシステムの開発

超長尺基板対応大面積プラズマスパッタシステムの開発
Study period：2010 - 2011
Organization (2)：
株式会社イー・エム・ディー

About 株式会社イー・エム・ディー

, 
大阪大学

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Corporate responsibility：
株式会社イー・エム・ディー

About 株式会社イー・エム・ディー


Research responsibility：
節原 裕一

About 節原 裕一

(
大阪大学

About 大阪大学

, 接合科学研究所, 教授 )
Terms in the title (3)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
長尺

About 長尺

, 
大面積

About 大面積

, 
開発

About 開発

Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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R&D Programs Focused on Technology Transfer

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Adaptable & Seamless Technology Transfer Program through Target-driven R&D

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High-risk Challenge

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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