Proj
J-GLOBAL ID:202104002554038589  Research Project code:07050856

酸化亜鉛系半導体発光デバイスの開発

酸化亜鉛系半導体発光デバイスの開発
Study period:2005 - 2008
Organization (1):
Research responsibility: ( , 学内共同利用施設等 )
Research overview:
励起子の結合エネルギーが60 meVと大きいために発光効率が高いと考えられている酸化亜鉛発光ダイオード(ZnO-LED)の開発を目標に研究を行った。高品質なZnO 単結晶基板上へ、独自に開発したプラズマアシスト反応性蒸着(PARE)法を用いてp形ZnO薄膜を作製することでZnO-pnホモ接合LEDを試作した。このZnO-LEDから、電流注入により波長375 nm付近の強い紫外線発光を得ることに初めて成功した。この発光はZnOで高効率発光が得られると期待されていた励起子によるものであることを明らかにし、ZnO-LED実用化の見通しを得た。育成研究期間の3年間で、紫外線の発光強度を3桁以上増加できた。
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page