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J-GLOBAL ID:202104004523367625  Research Project code:7700107663

赤外領域短パルス幅レーザーによるSi/MEMS積層構造物の内部加工技術と周波数増減調整装置の開発

赤外領域短パルス幅レーザーによるSi/MEMS積層構造物の内部加工技術と周波数増減調整装置の開発
Study period:2009 - 2010
Organization (2):
Corporate responsibility:
Research responsibility: ( , 工学部, 教授 )
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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