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J-GLOBAL ID：202104004523367625  Research Project code：7700107663

赤外領域短パルス幅レーザーによるSi/MEMS積層構造物の内部加工技術と周波数増減調整装置の開発

赤外領域短パルス幅レーザーによるSi/MEMS積層構造物の内部加工技術と周波数増減調整装置の開発
Study period：2009 - 2010
Organization (2)：
シチズンファインテックミヨタ株式会社

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長岡技術科学大学

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Corporate responsibility：
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Research responsibility：
伊藤 義郎

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Organization with control over the research：
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