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J-GLOBAL ID：202104004540261156
Research Project code：09152872
ナノシステムの大規模集積化に向けた高速電子線露光法の開発
ナノシステムの大規模集積化に向けた高速電子線露光法の開発
National award number：JPMJPR09H3
Study period：2009 - 2012
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 大学院理学研究科, 講師 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJPR09H3
Research overview：
極限微細化技術において、電子線露光の高速化は最も重要な研究課題です。従来の“一筆書き電子線露光法"では多大な時間とコストを要し、量産には向きません。本研究では、「電子の短波長性」と「電子線の軌道制御性の良さ」を最大限に生かした量産型の高速電子線露光装置の開発を目指します。
Terms in the title (3)：
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Research program：
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Parent Research Project：
ナノシステムと機能創発
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
