新CVD技術による酸化物単結晶薄膜成長装置の開発

Study period：2006 - 2006
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 国際融合創造センター創造部門, 教授 )
Research overview：

酸化亜鉛(ZnO)をはじめとする酸化物半導体結晶を育成する新規技術を開発し、単結晶薄膜育成と伝導性制御の実績を得て、成膜装置としての製品化・実用化を行う(可能性80%以上)。

, , ,

Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page