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J-GLOBAL ID：202104006556480535
Research Project code：7700000707
電子線リソグラフィーによる炭素系ハイブリッド構造膜の創製と高機能化
電子線リソグラフィーによる炭素系ハイブリッド構造膜の創製と高機能化
National award number：JPMJPR01N1
Study period：2001 - 2004
Organization (1)：
Principal investigator：
(
, 材料研究所, 研究員 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJPR01N1
Research overview：
電子線を用いた局所構造制御の原理を確立し、アモルファスカーボン薄膜中にグラファイトクラスター、カーボンオニオンやCNTなどの秩序化構造を導入した3次元的ハイブリッド膜を創製します。これらの構成ユニットの秩序性や次元性に起因した物性とサイズ効果や周期性および構造異方性とを組合せて高機能化を実現します。
Terms in the title (5)：
Terms in the title
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Research program：
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Parent Research Project：
秩序と物性
Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency
