非破壊3次元TOF-RBS分析装置の開発

National award number：JPMJSN04A7
Study period：2004 - 2007
Organization (1)：
Research responsibility： ( , 極限量子科学研究センター, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN04A7
Research overview：

200keV程度の中エネルギーイオンビームを10nm以下に集束したイオンナノプローブを形成し、このイオンナノプローブの局所チャンネリング・後方散乱イオンを飛行時間(TOF)計測します。そのマッピングにより3次元可視化を行い、ナノ領域の不純物同定、元素分布、組成、結晶性、表面界面状態の非破壊計測技術の装置化・実用化を目指します。最終的に、分解能が10nm以下で非破壊3次元分析を可能とするテーブルトップサイズの装置を実現します。 TOF-RBS: Time of Flight-Rutherford Backscattering Spectrometry

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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