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J-GLOBAL ID：202104010540701520  Research Project code：12103748

長尺基板対応大画面プラズマスパッタシステム

長尺基板対応大画面プラズマスパッタシステム
National award number：JPMJTT12S6
Study period：2012 -
Organization (2)：
株式会社イー・エム・ディー

About 株式会社イー・エム・ディー

, 
大阪大学

About 大阪大学


Corporate responsibility：
株式会社イー・エム・ディー

About 株式会社イー・エム・ディー


Research responsibility：
節原 裕一

About 節原 裕一

(
大阪大学

About 大阪大学

, 接合科学研究所, 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTT12S6
Terms in the title (2)：
Terms in the title
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長尺

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, 
大画面

About 大画面

Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
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