大口径シリコンウェーハの形状測定技術の確立

Study period：2007 - 2007
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院共生科学技術研究院, 助教授 )
Research overview：

本研究課題は、大口径シリコンウェーハの形状測定技術を確立することを目的とする。大口径ウェーハは測定時の支持によって変形するので、形状測定の再現性が低く、満足できる測定技術が未だに確立されていない。そこで、大口径シリコンウェーハの測定において避けては通れない非測定物の変形問題と、低い測定再現性の原因を明らかにし、ウェーハの変形量をFEM解析で求め、補正によりサブミクロン精度の形状測定を実現する。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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