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J-GLOBAL ID:202104013280357765  Research Project code:7700001358

ネオシリコン創製に向けた構造制御と機能探索

ネオシリコン創製に向けた構造制御と機能探索
National award number:JPMJCR9981
Study period:1999 - 2004
Organization (1):
Principal investigator: ( , 量子効果エレクトロニクス研究センター, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJCR9981
Research overview:
ナノ結晶シリコンの粒径と粒子間隔を原子スケールで制御した「ネオシリコン」は、粒子内での電子の局在化と粒子間の相互作用により、電子輸送、光放出、電子放出特性などにおいて、従来の単結晶やアモルファスを超える新物性が期待できる第3のシリコン材料です。デジタルプラズマプロセス、ラジカル窒化、化学アニーリング法などのオリジナル技術を駆使し「ネオシリコン」特有の機能を発現させ、将来の情報通信、エネルギ一、医療産業への応用につなげます。
Terms in the title (4):
Terms in the title
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Research program:
Parent Research Project: 電子・光子等の機能制御
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency
Reports :

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