新規コンポジット膜を利用した水素センサー及び水素選択透過膜の開発

Study period：2003 - 2006
Organization (1)：
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Research overview：

イットリウム(Y)などの希土類は水素化・脱水素化で電気抵抗率が大きく変化するため、水素センサーなどへの応用が考えられてきたが、実用になる耐酸化保護層がなかった。本研究では、新たな手法を用いて窒化珪素中にナノレベルのパラジューム粒子を分散させることに成功し、試作したSiN-Pdコンポジット膜は非常に高速に水素を透過することを見いだした。この膜は電気抵抗が高い、Pd量を抑えられる、希土類等との連続スパッタで水素センサーにできることなど、耐酸化保護層として多くの利点を示した。この膜を利用した水素漏れセンサーは優れた性能を示した。

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Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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