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J-GLOBAL ID：202104014821086421  Research Project code：17937660

大気圧プラズマ処理による低温ポリシリコン薄膜トランジスタの低リーク電流化

大気圧プラズマ処理による低温ポリシリコン薄膜トランジスタの低リーク電流化
National award number：JPMJTM17AB
Study period：2017 -
Organization (1)：
東京農工大学

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Principal investigator：
鮫島 俊之

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(
東京農工大学

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, 工学(系)研究科(研究院), 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM17AB
Terms in the title (4)：
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大気圧プラズマ

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低温ポリシリコン

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薄膜トランジスタ

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リーク電流

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
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