光機能性酸化膜の低温成長と発光デバイスへの応用

Study period：2007 - 2007
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院工学研究科マテリアル生産科学専攻, 助手 )
Research overview：

本研究では、発光機能を有する透明酸化物の低温成膜技術を開発し、フレキシブル基板上の新規発光デバイスの作製を目的とする。炭素含有Si酸化膜を透明酸化物母体と位置づけ、高効率発光が得られる希土類元素を母体中に添加することで新規光機能性酸化物を創製する。希土類添加機能性酸化膜の作製は、これまでに開発したプラズマCVD法により60°C以下の低温一貫成長で行い、可視光領域のデバイスの作製を最終目標とする。

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Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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