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J-GLOBAL ID:202104015256032084  Research Project code:09156480

マイクロ流体チップのメカニカル・リソグラフィー製造技術の開発

マイクロ流体チップのメカニカル・リソグラフィー製造技術の開発
Study period:2009 - 2009
Organization (1):
Principal investigator: ( , 工学部, 教授 )
Research overview:
本提案は、多品種少量生産に対応できるマイクロ流体チップの製造技術の開発である。ここでは、マイクロ工具によりステンレス鋼表面に直接機械加工する金型製造プロセスを提案し、メカニカルな加工方法でフォトリソグラフィー技術と同等な微細凹凸形状(幅10~100μm×高さ10~100μm)を加工精度±0.5μmで形成することを目標とし、金型コストの低減と製作期間の短縮が可能なメカニカル・リソグラフィー製造技術を開発する。
Terms in the title (3):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

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