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J-GLOBAL ID：202104016069471526  Research Project code：7700108176

高性能ポリシリコン薄膜

高性能ポリシリコン薄膜
Study period：2000 -
Organization (1)：
大阪大学

About 大阪大学


Principal investigator：
三宅 正司

About 三宅 正司

(
大阪大学

About 大阪大学

, 教授 )
Research overview：
高密度・低損傷プラズマ技術により、結晶構造を制御したポリシリコン薄膜の大型ガラス基板への形成(マザーシートの作成)技術の研究開発を行う。フラットパネルディスプレイ等への応用など、各種デバイスへの利用が期待される。
Terms in the title (2)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
高性能

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, 
シリコン薄膜

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Research program：
Industry-Academia Collaborative R&D

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Organization with control over the research：
Japan Science and Technology Agency

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