Proj
J-GLOBAL ID:202104016069471526  Research Project code:7700108176

高性能ポリシリコン薄膜

高性能ポリシリコン薄膜
Study period:2000 -
Organization (1):
Principal investigator: ( , 教授 )
Research overview:
高密度・低損傷プラズマ技術により、結晶構造を制御したポリシリコン薄膜の大型ガラス基板への形成(マザーシートの作成)技術の研究開発を行う。フラットパネルディスプレイ等への応用など、各種デバイスへの利用が期待される。
Terms in the title (2):
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
Research program:
Organization with control over the research:
Japan Science and Technology Agency

Return to Previous Page