テラヘルツ・プロファイロメトリーの開発

Study period：2008 - 2008
Organization (1)：
Principal investigator： ( , 大学院基礎工学研究科, 助手 )
Research overview：

表面形状測定(プロファイロメトリー)は工業製品の品質評価を始めとした様々な分野で幅広く利用されているが、従来の光学的手法では表面が粗面の物体(金属粗面、樹脂製品など)を計測することは強い光散乱のため困難であった。本研究では、光波と電波の境界に位置するパルス状テラヘルツ波の自由空間伝搬・コヒーレントビーム・超短パルス特性いった特徴に加え、波長が極めて長いことに起因する低散乱性を利用することにより、粗面物体の表面形状測定が可能なTHzプロファイロメトリーを開発する。

Research program：＞＞＞＞
Organization with control over the research：

Japan Science and Technology Agency

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