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J-GLOBAL ID：202104020348718105  Research Project code：10100926

窒化ガリウム(GaN)基板の高能率・ダメージレス平坦化加工技術の開発

窒化ガリウム(GaN)基板の高能率・ダメージレス平坦化加工技術の開発
Study period：2010 - 2012
Organization (2)：
株式会社荏原製作所

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大阪大学

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Corporate responsibility：
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Research responsibility：
佐野 泰久

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, 大学院工学研究科, 准教授 )
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