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J-GLOBAL ID:202203002078288370
光偏向器の制御方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (4):
山川 茂樹
, 小池 勇三
, 山川 政樹
, 本山 泰
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2019082043
Publication number (International publication number):2020181018
Patent number:7156159
Application date: Apr. 23, 2019
Publication date: Nov. 05, 2020
Claim (excerpt):
【請求項1】 印加される電圧に依存して偏向角が変化する光偏向器であって、時間をtとしたとき、目的とする時間依存性θ=θgoal(t)を持つ偏向角θを与える目的電圧V=ggoal(t)を導出する前記光偏向器の制御方法において、 θが、時間の周期関数であれば、周期をTとし、 θが、時間の周期関数でなければ、持続時間をTとしかつ目的とする時間依存性θ=θgoal(t)を持つ偏向角の開始時刻をt=0とし、 0≦t<Tの期間の時刻を考えたとき、 繰返し回数n=0とする初期ステップと、 n=n+1とするインクリメントステップと、 周期Tまたは持続時間Tを有する電圧gn(t)を前記光偏向器に印加するステップAnと、 前記ステップAnの次に、θ=θgoal(t)が、目的とする精度で満たされているか否かを確認するステップBnと、 gn(t)を目的電圧とするステップCnと、 前記光偏向器に印加する電圧が上昇する際の偏向角の電圧依存性を示すθ=frise,n(V)と、前記光偏向器に印加する電圧が下降する際の偏向角の電圧依存性θ=ffall,n(V)とを導出するステップDnと、 前記ステップDnの次に、grise,n+1(t)=frise,n-1{θgoal(t)}とし、gfall,n+1(t)=ffall,n-1(θgoal(t))とし、grise,n+1(t)とgfall,n+1(t)とからgn+1(t)を構成するステップEnと、 前記ステップEnの次に、前記インクリメントステップを実施するステップFnとを含み、 前記ステップAnは、前記インクリメントステップに続き、 前記ステップBnにおいて、θ=θgoal(t)が、目的とする精度で満たされていない場合、前記ステップBnに続いて前記ステップDnを実施し、 前記ステップBnにおいて、θ=θgoal(t)が、目的とする精度で満たされている場合、前記ステップBnに続いて前記ステップCnを実施して終了し、 gn+1(t)は、前記光偏向器に印加する電圧が上昇する際はgrise,n+1(t)に等しく、前記光偏向器に印加する電圧が下降する際はgfall,n+1(t)に等しく、 前記光偏向器に印加する電圧が上昇する際の偏向角の電圧依存性と、前記光偏向器に印加する電圧が下降する際の偏向角の電圧依存性とは異なる ことを特徴とする光偏向器の制御方法。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent: