KTN結晶を用いたスキャナ装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：特許業務法人谷・阿部特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012159680
Publication number (International publication number)：2014021271
Application date： Jul. 18, 2012
Publication date： Feb. 03, 2014
Summary：

【課題】KTN結晶を偏向させたときに得られる制御特性は、非常に低速の制御であっても、完全な直線からは逸脱しており、その逸脱量は、数%以上にも及ぶ。偏向角と駆動電圧との間に非線形性があれば、偏向角のスキャン制御で得られる結果は歪みを含んだものとなる。非線形性は、KTN結晶の不均一性に伴う、電極面上での比誘電率の不均一、トラップの不均一、電界分布の不均一などを含み未だ完全な解決には至っていない。【解決手段】本発明の光スキャナ装置では、KTN結晶の光出射側に、光量の一部を抽出する例えばミラーを配置して、抽出した光を2分割位置検出器に導く。2分割位置検出器からの信号に基づいて、偏向角を反映させた信号を生成し、制御信号との誤差信号を求めて、KTN結晶の駆動電圧にフィードバックする。4分割位置検出器を用いることで、2次元の光スキャナ装置にも拡大できる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

対向する面に少なくとも2つの電極を形成した電気光学結晶であって、前記電極に制御信号に基づいた駆動信号を印加して、電気光学効果により内部の屈折率分布の傾斜を生成することによって、前記駆動電圧により形成される電界に概ね垂直に入射する入射光を偏向させる電気光学結晶を用いた光偏向器と、偏向角を維持しながら、前記光偏向器から偏向を受けた出射光の一部を抽出する手段と、少なくとも2つの隣接する検出面を有し、前記抽出された出射光を受光して前記検出面の各々に対応した前記偏向角を反映した複数の検出電流を出力する位置検出器と、前記それぞれの検出面からの前記複数の検出電流の差異に基づいて、前記偏向角を表す差信号を生成する手段と、前記制御信号と、前記差信号との誤差を比較して、誤差信号を生成する手段と、前記制御信号および前記誤差信号に基づいて、前記駆動電圧と偏向角との非線形性を補償した駆動電圧を生成する手段とを備えたことを特徴とする光スキャナ装置。

IPC (1)：

G02F 1/29

FI (1)：

G02F1/29

F-Term (10)：

2K002AA06 , 2K002AA07 , 2K002AB06 , 2K002BA08 , 2K002CA02 , 2K002DA01 , 2K002EB14 , 2K002EB15 , 2K002GA10 , 2K002HA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-081824
特開平2-284129
走査型光学装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-282603 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

KTN結晶への電子注入の過渡応答解析

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