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J-GLOBAL ID：202203003506448384

歪センサ、およびその製造方法

Inventor： 筧 芳治 ,  小栗 泰造 ,  佐藤 和郎 ,  松元 光輝
Applicant, Patent owner： 地方独立行政法人大阪産業技術研究所 ,  日本リニアックス株式会社
Agent (1)： 特許業務法人みのり特許事務所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2018193492
Publication number (International publication number)：2020060519
Patent number：7103600
Application date： Oct. 12, 2018
Publication date： Apr. 16, 2020
Claim (excerpt)：

【請求項1】 基板と該基板の歪に応じて電気抵抗が変化するよう構成された感応層とを備えた歪センサであって、 前記基板と前記感応層との間にバッファ層をさらに備え、 前記感応層は、Ti、CおよびOを含む材料からなり、 前記バッファ層は、前記感応層と同じ結晶構造を有し、 前記バッファ層の格子定数をab、前記感応層の格子定数をasとしたとき、abとasとの間にas×N×0.95≦ab≦as×N×1.05(ただし、N=1,2)の関係があることを特徴とする歪センサ。

IPC (1)：

G01B 7/16 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01B 7/16 R