微小構造物検出方法、及びその装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2016017895
Publication number (International publication number)：2021004882
Patent number：7085231
Application date： Feb. 02, 2016
Publication date： Jan. 14, 2021
Claim (excerpt)：

【請求項1】レーザ光の焦点を合わせるためのスパイラル溝の上側に試料を搭載した回転するディスクの一方の面に該スパイラル溝の下側からとなるようにレーザ光を照射して該面を走査しながら、前記ディスクの他方の面からの透過光を光検出器で検出することにより該試料中における特定の微小構造物の有無を検出する方法であって、前記試料は前記スパイラル溝の上に直接搭載され、検出対象の前記微小構造物は、前記レーザ光のレーザ光波長にて、自家蛍光を有し又は蛍光発光するように処理され、回転する前記ディスクからの前記透過光について、前記レーザ光波長を遮断して、前記レーザ光波長よりも長波長側の光の一部を通過させるフィルタを与えて、前記光検出器にて前記微小構造物からの蛍光強度の時間変化を検出することを特徴とする微小構造物検出方法。

IPC (2)：

G01N 21/64 ( 200 6.01) , G01N 21/59 ( 200 6.01)

FI (3)：

G01N 21/64 Z , G01N 21/64 F , G01N 21/59 D

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-047246 Applicant：松下電器産業株式会社
微小構造物検出装置及び方法並びに検出用ディスク
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2013-022522 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
光学検査の処理方法及び処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-070396 Applicant：ザユニバーシティコートオブザユニバーシティオブグラスゴー

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Cited by examiner (6)

分析装置
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光学検査の処理方法及び処理装置
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